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轮廓仪的测量
- 2019-12-20-

近年来。随着机械、电子、光学等工业的飞速发展,对精密加工表面的质量要求越来越高,使得轮廓仪的测量变得越来越重要。激光聚变驱动器、光盘、光盘、X射线光学仪器组件、大功率激光窗口和同步加速器元件的表面粗糙度要求均达到纳米级。

这些要求也极大地推动了表面粗糙度测量技术的发展。轮廓仪粗糙度测量技术的未来发展方向是什么?现代科学技术的许多领域对表面质量提出了更高的要求。一方面,现有的常规检测方法已不能满足测量精度的要求,尤其是近年来,纳米技术的出现和逐步普及和应用。

电子技术、计算机技术和精密加工技术的发展为表面粗糙度测量的进一步发展提供了技术基础。原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微镜(STM)、扫描方法光学显微镜(SNOM)和光子扫描隧道显微镜(PSTM)是20世纪80年代出现的表面粗糙度测量的新方向。

此外,在科研和生产实践的许多领域,以往的后处理采样测量已经不能满足要求,这就要求有一种新的测量方法可以在线测量。超高精度表面的高精度测量、三维表面粗糙度测量和在线实时测量成为未来粗糙度测量的主要方向。

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